据国外媒体报道，5nm 工艺量产已两年的台积电，正在推进 3nm 工艺的量产事宜，这一制程工艺在去年下半年已风险试产，按计划将在今年下半年大规模量产。
而除了 3nm 制程工艺，台积电也在谋划更先进的 2nm 工艺的量产事宜，这一工艺计划在 2025 年量产。
外媒的报道显示，台积电在近期已宣布，他们将投资 340 亿美元，推动 2nm 制程工艺的量产，他们已经获得了建厂土地的租赁许可。
另外，有外媒在报道中表示，台积电的高层，正在同相关方，就建设 2nm 制程工艺工厂所需的土地进行谈判，超过 90% 的业主已经同意，预计最迟在 6 月份能获得建厂所需的全部土地。
除了土地，台积电 2nm 制程工艺工厂在厂房的建设方面也需要大量的资金，但花费最多的，预计会是更高端的极紫外光刻机和其他的先进设备。
台积电从第二代的 7nm 工艺开始采用极紫外光刻机，随后量产的 5nm 等先进制程工艺，都需要极紫外光刻机，他们也从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机，而更先进的 2nm 工艺所需要的将是高数值孔径极紫外光刻机。
阿斯麦已经推出的 TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 极紫外光刻机中，最先进的 TWINSCAN NXE:3600D 最高也只能支持 5nm 和 3nm 工艺的量产。
而从阿斯麦一季度的财报来看，他们在今年一季度交付 3 台极紫外光刻机，营收 5.94 亿欧元，平均一台的售价接近 2 亿欧元。未来推出的支持 2nm 制程工艺的更先进的极紫外光刻机，售价将会更高。